一台价值4亿美元的EUV光刻机，全球买家争相加价购买。然而，让它彻底停摆的却是一枚几美分的小零件。这并非段子，而是行业现实。
这台EUV光刻机包含超过10万个零件，涉及5000多家供应商。德国蔡司打磨的反射镜单面耗时几个月，镀上百层膜，精度达到原子级别。如果将反射镜反射的光束射到月球上，可以准确打中月表上的乒乓球。美国通快的光源系统每秒用激光轰击锡液滴几万次，把锡炸成等离子体，才能产生极紫外光。
这些显而易见的技术昂贵且复杂，但问题往往出现在不起眼的地方。光刻机内部需要保持近乎荒谬的真空环境，气压低至普通大气压的百亿分之一。维持这一环境的关键是阀门、密封圈和真空泵。尽管它们在成本表上微不足道，却是让机器停摆的关键。一枚高端真空阀门的成本几乎可以忽略不计，但其精度要求极高，必须做到微秒级响应、零漏气、零污染。瑞士VAT集团在这个细分领域占据了全球70%以上的市场份额，在先进制程领域更是超过90%。2025年，这家公司靠卖阀门营收超过10亿瑞士法郎，折合人民币近80亿元。
光刻机不仅受制于小零件，还依赖特定材料。例如，某芯片厂曾因缺一个备件导致整条产线停工。从荷兰空运来的氮气罐内装有一个表面镀有高纯度锗的密封圈。由于锗的出口受到管制，这个几美分的密封圈进不来，整条产线就只能停着干瞪眼，72小时内损失超过1000万元。密封圈背后的材料提纯、镀膜工艺、认证周期和出口管制任何一个环节收紧，都会使几美分的东西变成致命弱点。
